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层层穿透，
在线测量三维形貌。
德擎光学最新的光学断层扫描测量仪，采用光学相干断层扫描成像技术，不受材质和颜色的影响。高速扫描振镜结合远心镜头，可最大角度地在线测量三维形貌及检测品质。
在线高精度测量：
识别隐藏的内部缺陷。
胜任各类工件测量
透明 / 非透明工件
漫反射 / 反射工件
各种颜色工件
深孔、凹槽、侧壁区域无明显遮挡风险
在线高精度测量
高速采样 90kHz
纵向分辨率 1μm
量程可选3mm/9mm
最大测量范围 50 mm x 50 mm
高稳定性
不受杂散光影响
远心成像无死角
非接触式测量
采用共路干涉，抗干扰强
OTS应用场景
*以上未完全列举，更多类型请
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OTS应用案例-壳盖爆孔
显微镜显示缺陷宽度大约0.0645mm，OTS扫描整个幅面能找到缺陷位置，凸起高度约为60um。
OTS应用案例-方形电池阴极焊穿
OTS扫描整个幅面，焊接区域有高低起伏的焊接痕迹，中间区域出现无回光信号的小孔，判断为焊穿。
参数说明
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产品型号
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OTS30
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OTS56
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| 测量值 |
距离、厚度
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| 采样频率 | Max 250kHz | |
| 光源 | SLD | |
| 中心波长 | 840nm | |
| 可测量视场范围 | 30nm×30nm | 56nm×56nm |
| 横向分辨率 |
11μm
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15μm
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| 轴向分辨率 | 相位法：1μm | 相位法：1μm |
| 光斑大小 |
22μm
（入射位置在场镜中心）
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30μm
（入射位置在场镜中心）
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| 量程 |
3mm
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9mm
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| 工作距离 | 94mm | 150mm |
| 最小测量厚度 | 15μm（实际最小测量厚度需除以样品折射率） | |
| 额定功率 |
90W
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| 工作环境温度 |
+10℃ to +45℃
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| 相对湿度 |
≤ 90%
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| 防护等级 |
IP50
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| 两轴扫描模组尺寸 | 156.7mm×77mm×87mm | |
| 场镜尺寸(H×Ø) |
114mm×Ø59.5 mm
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200mm×Ø125mm
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