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層内部まで可視化
3D形状をインラインで測定
ディリジンの最新光学トモグラフィスキャナは、光コヒーレンストモグラフィ（OCT）イメージング技術を採用し、材料や色の影響を受けにくい測定に対応します。高速スキャンガルバノミラーとテレセントリックレンズを組み合わせることで、広い視野で3D形状測定と品質検査をインラインで行えます。
インライン高精度測定：
隠れた内部欠陥を識別
各種ワークの測定に対応
透明／不透明ワーク
拡散反射／鏡面反射ワーク
さまざまな色のワーク
深穴・溝・側壁領域でも遮蔽リスクを低減
インライン高精度測定
高速サンプリング：90 kHz
軸方向分解能：1 µm
測定レンジ：3 mm／9 mm
最大測定視野：50 mm × 50 mm
高い安定性
外乱光に強い安定測定
死角の少ないテレセントリックイメージング
非接触測定
共通光路干渉方式により、高い耐干渉性を発揮
OTS応用シーン
*以上は完全には挙げていませんが、より多くのタイプはお
問い合わせください
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OTS応用事例：カバー溶接部のブローホール
顕微鏡では、欠陥幅が約0.0645 mmであることが確認されます。OTSによる全面スキャンにより欠陥位置を特定でき、突起高さは約60 µmです。
OTS応用事例：角形電池正極の焼け抜け
OTSで全面スキャンすると、溶接領域に高低差のある溶接痕が確認されます。中央部には戻り光信号のない小孔があり、焼け抜けと判定されます。
パラメータ説明
| 製品型式 |
OTS30
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OTS56
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| 測定項目 |
距離、厚さ
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| サンプリング周波数 | 最大250 kHz | |
| 光源 | SLD | |
| 中心波長 | 840 nm | |
| 測定視野 | 30 nm×30 nm | 56 nm×56 nm |
| スポットサイズ | 22 μm※1 | 30 μm※1 |
| 厚さ測定範囲 |
3 mm
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9 mm
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| 作動距離 |
94 mm
|
150 mm
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| 最小測定厚さ | 15 μm※2 | 15 μm※2 |
| 定格消費電力 | 90 W | 90 W |
| 動作周囲温度 |
+10 ℃～+45 ℃
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| 相対湿度 |
90%RH以下
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| 保護構造 |
IP50
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2軸スキャニングモジュール外形寸法（W × D × H）
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156.7 mm × 77 mm × 87 mm
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| フィールドレンズ外形寸法（H × φ） |
114 mm × Ø59.5 mm
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200 mm × Ø125 mm
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| 横方向分解能 |
11 μm
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15 μm
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| 軸方向分解能 |
位相方式：1 μm
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位相方式：1 μm
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Note：
※1 フィールドレンズ中心入射時の値です。
※2 実際に測定可能な最小厚さは、サンプルの屈折率で除算する必要があります。
